上市仍然是今年半导体产业的热点之一，近期不断有半导体企业进入上市辅导阶段，日前又再添两家半导体设备企业。

　　5月18日，新三板企业中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）发布关于上市辅导备案的提示性公告。

　　公告显示，中科仪于4月28日向辽宁证监局提交了首次公开发行股票并上市的辅导备案申请材，并已于近期收到辽宁证监局予以辅导备案登记的回执。目前公司正在接受招商证券股份有限公司的辅导，辅导期自2020年4月28日开始计算，公司已经进入首次公开发行股票并上市的辅导阶段。

　　资料显示，中科仪是一家专业从事真空仪器装备、真空获得设备研制生产并服务于集成电路产业及科研领域的高新技术企业，其前身中国科学院沈阳科学仪器研制中心创建于1958年。中科仪以高真空、超高真空、洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得及系统集成。

　　中科仪在此前公告中表示，经过多年在集成电路装备领域的储备和积累，公司的线英寸集成电路生产线和集成电路装备方面得到广泛应用。

　　2019年11月，为推动真空干泵产业化升级，中科仪宣布拟以4.13元/股，非公开定向发行不超过7264万股（含）普通股、募集资金不超过3亿元，国家集成电路产业投资基金股份有限公司以1.40亿元的总价认购了其中的3389.83万股bobapp最新。

　　5月15日，天津证监局披露华海清科股份有限公司（以下简称“华海清科”）首次公开发行股票（并在科创板上市）接受辅导公告。公告显示，国泰君安证券股份有限公司已于5月12日与华海清科签署首次公开发行股票（并在科创板上市）的辅导协议。

　　资料显示，华海清科成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。该公司主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造bobapp登陆、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

　　据介绍， 化学机械抛平坦化（CMP）是目前国际公认的唯一能对亚微米经器件提供全局平面化的技术。伴随着全球半导体市场的增长，晶圆制造中制程技术的升级，导线与栅极的尺寸越来越小，光刻技术对晶圆表面的平坦程度的要求越来越高等因素，使得CMP工序显著增加。目前，CMP与光刻、刻蚀、离子注入、PVD/CVD一起被称为IC制造的五大核心技术。

　　华海清科官网显示，华海清科持续研发出Universal-200Plus、Universal-300Plus等系列产品，实现了8-12英寸晶圆抛光设备规格型号覆盖，截至目前已有多台CMP设备进入国内先进集成电路大生产线，实现了国产抛光装备的规模化制造与产业化应用。